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MEMS/NEMS Sensors: Fabrication and Application

TecnologíaISBN | 9783039216345
MEMS/NEMS Sensors: Fabrication and Application
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Détails du produit

Pages: 242 pages
Auteur: Goutam Koley
Éditeur: MDPI AG
ISBN: 9783039216345
Format: tapa blanda
Langue: en
Date de publication: 20/11/2019

ISBN: 9783039216345


Synopsis de MEMS/NEMS Sensors: Fabrication and Application

Este libro técnico explora el desarrollo y las aplicaciones en constante expansión de los sistemas micro y nanoelectromecánicos (MEMS/NEMS) como sensores y actuadores. A través de diversos esquemas de excitación y lectura, estos dispositivos transducen cambios en parámetros físicos —como la temperatura, la masa o el estrés— en señales eléctricas procesables. La obra recopila artículos especializados que cubren ejemplos comunes y avanzados, incluyendo sensores de presión, acelerómetros, sensores de campo magnético, micrófonos y sensores de radiación. Es una edición impresa del número especial publicado en la revista científica Micromachines, editada por Goutam Koley, ideal para profesionales e investigadores en ingeniería y tecnología.



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